说明及特点:

- 接液部分依据SEMI F19标准电抛光，表面粗糙度Ra≤0.13μm 

- 100%氦检漏测试，并在洁净室内完成真空包装 

- 精度最高0.1%BFSL(含线性，迟滞以及重复性) 

- 多种VCR接头可选，包括内螺纹，外螺纹，固定螺纹以及活动螺纹

应用范围:

- OEM设备配套 

- 半导体 

- 太阳能光伏 

- 特种气体

产品精度：        0.15%BFSL @25℃ (含线性，迟滞以及重复性)

压力范围：        0...30psi - 0...5000psi (含真空)

最大压力：        2倍满量程

长期稳定性：    最大0.25%FS/年

温漂系数：        最大0.25%FS/10℃ (-20...+85℃)

氦检漏测试：    ＜1*10-9 mbar L/S

响应时间：        ＜1.5mS

输出信号：        4-20mA 2线

供电电压：        10-30VDC

介质温度：        -20 ... 140℃

防护等级：        IP67

传感器材质：    17-4PH

接头材质：        316LSS

电气接口：        M12*1 (4针)

过程接口：        9/16"-18UNF 内螺纹，外螺纹，固定螺纹，活动螺纹

接液粗糙度：    Ra≤0.13μm（典型值） Ra≤0.18μm（最大值）

防爆认证：        Ex na IIC T4/T5/T6 Gc

EMC/EMI          EN61326-1:2013, EN61326-2-3:2013