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FUJI富士工业浓度计

 
FUJI 富士工业液晶半导体行业多成分(流通式)FUD-1 Model-53
发布时间:2021-12-11   点击率:144
FUJI 富士工业液晶半导体行业多成分(流通式)FUD-1 Model-53FUJI 富士工业液晶半导体行业多成分(流通式)FUD-1 Model-53

多成分濃度計の特長

リアルタイムに3成分中の2成分濃度計側が可能

  • アナログDC4~20mA(2系統)及びデジタルRS232Cを標準装備
  • 計測エラー出力・警報出力を標準装備
  • 自己診断機能・エラーメッセージ表示を標準装備
  • 小型・軽量セル型発信器はラインにダイレクト設置が可能
  • PFAを採用した接液部材質、小出力設計で薬液への影響が無い
 

メリット

  • 高精度での連続計測が可能
  • 定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー
  • 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
  • リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易

用途

  • CMP工程におけるCMPスラリー及び酸化剤濃度管理など
  • 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF+HNO3・HF+H2SiF6など)
  • エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(TMAH+レジスト・TMAH+Siなど)
  

仕様

型式FUD-1 Model-53
 変換器
測定パラメータ超音波伝播速度・温度・導電率
表示LCD(濃度1・濃度2・温度・音速・導電率/各種パラメータ)
出力信号アナログ DC4~20mA:2系統(濃度値に対し自由に設定可)
デジタル RS232C(濃度1・濃度2・音速・温度・導電率・エラーコード)
警報 上・下限 計測異常:2系統
電源AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
構造パネルマウント型(DIN規格準拠)
環境温度  変換器0~50℃
RH85%以下(結露ないこと)
機能出力範囲設定機能、警報出力設定機能、濃度表示移動平均機能、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診断機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル機能、温度時定数補正
オプション温度出力(DC4~20mA)
RS485出力(RS232Cとの同時出力不可)
チャンネル(検量線)最大7ch
適合発信器例SA-20S29+導電率計、SA-20S27+導電率計


 型式 発信器
SA-20S29+導電率計SA-20S27+導電率計
 振動素子 PZT(2MHz)x1PZT(2MHz)x2
 測定素子 サーミスタサーミスタ
 測定液温度 0~100℃ 0~80℃
 構造 フローセル フローセル
 接液部材質 PFA/PFAコーティング PFA
 継ぎ手 3/4フィッティング(変更可) 3/4フィッティング(変更可)
 耐圧 0.3MPa 0.3MPa
 流量 5l/min(推奨) 5l/min(推奨)
 重量 2.5kg 2.5kg
 ケーブル 専用ケーブル6m専用ケーブル6m
 環境温度 5~45℃ 5~45℃
意赛德(天津)自动化仪器股份有限公司,是进口工业产品提供商。拥有良好的进口品牌产品的渠道,代理及经营多种品牌工业产品,产品涵盖传动机械,气动元件,液压机械,流体机械,工业控制及测量工具等系列,产品广泛地应用于钢铁、冶金、石油、风能、环保、汽车、化工、电子、半导体、轮胎、造纸、印刷、电力、水力、港口及工业制造行业...


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