日本Fujikur藤仓无尘室对应超精密减压阀RS-8-2-KA RS-4-2-KA

• 压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。

  • 无尘规格

  • 因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。

  • 歧管安装对应

  • 歧管连接配管可能。

  • 排气口装备

  • 因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。

  • 高精度

  • 可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
    

    	RS-4	RS-8
    使用流体	清洁压缩空气
    压力设定范围 （MPa）	0.014～0.42	0.014～0.84
    进口压力设定范围 （MPa）	1. Max.
    排气的有无	有
    反复再现性 （％.F.S）	±0.1以内
    感度 （％.F.S）	0.1以内
    空气消费量 （Nl/min）	3.7以内
    使用温度范围 （℃）	5～60
    配管连接口径	Rc 1/4、歧管型
    压力表连接口径 （Rc（PT））	1/4
    支架	标准配置（歧管型以外）
    质量 （kg）	0.41